低压化学气相淀积与常压化学气相淀积法相比 优点有？

时间：2018-07-15 13:46:20 关键词：法相,气相,化学

低压化学气相淀积与常压化学气相淀积法相比，优点有？

答案解析

①晶体生长或成膜的质量好；②淀积温度低，便于控制；③可使淀积衬底的表面积扩大，提高淀积效率。

举一反三
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我国创办的第一个高新技术产业园区在（）
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低压化学气相淀积与常压化学气相淀积法相比 优点有？
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