化学气相沉积(CVD)

时间:2018-07-15 22:04:24 关键词:气相,化学,CVD

化学气相沉积(CVD)

答案解析

常压化学气相沉积,低压化学气相沉积,激光化学气相沉积,金属有机化合物化学气相沉积,等离子体化学气相沉积等目的是制备耐磨,抗氧化,抗腐蚀固态薄膜,适用于复杂零件及难熔金属、石墨、陶瓷等基体材料零件处理,可沉积难熔金属